萬級凈化車間安裝：
1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動部分之發(fā)塵。
b.應選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應配備過濾裝置。
d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為則。
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應設(shè)置在萬級凈化車間安裝外面或回風區(qū)，并加裝排氣管線排氣。
f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應定期清掃，以避免微塵之堆積。
h.應加強注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當造成結(jié)露生銹。
i.當設(shè)備維修時易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進行，并加隔離柵隔離。
j.對于施工或維修之廠商，應告知進出萬級凈化車間安裝之各項規(guī)定，且負責工程師應隨侍在側(cè)監(jiān)工。
k.應有萬級凈化車間安裝專用工具組，但不得帶出萬級凈化車間安裝外使用。
l.規(guī)劃空間時若能臨近萬級凈化車間安裝設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊置放室，將是一理想之規(guī)劃。
2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：
a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應布置于風尾地點。
c.在操作時，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。
e.各項廠務(wù)設(shè)施之供應如水、氣體和化學品于進入生產(chǎn)設(shè)備前應有過濾設(shè)備。
f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應有旁路閥之設(shè)置。
3.自動化與無塵化：
a.設(shè)立自動化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費用相當昂貴，須詳加評估。
b.建立管制項目如進入萬級凈化車間安裝人員的資格限定，萬級凈化車間安裝作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，萬級凈化車間安裝管理規(guī)則等，這些規(guī)則已在前面章節(jié)敘述，此處不再說明。
萬級凈化車間安裝之維護管理方面：
1.建筑物之維護管理：
a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔。
b.地板之清掃管理及損壞更新。
c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補。
d.窗戶及門之保養(yǎng)等。
2.環(huán)境測定與管理：
萬級凈化車間安裝內(nèi)之運轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應每日定期量測，以確實掌握質(zhì)量，若有數(shù)據(jù)異常，可立即做緊急處理。
3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護管理：
a.溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面以述及，唯其量測儀器應做定期校正檢驗，若有設(shè)備移動或施工時須做局部測量。
萬級凈化車間安裝停止運轉(zhuǎn)再開機要點管理：啟動后立即進行微塵粒子之測試，須萬級凈化車間安
裝恢復穩(wěn)定正常時再開始作業(yè)。