實現潔凈度要求的通風措施
潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項具體措施 [1] ：
（1） 對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用或亞過濾器（潔凈級別低時）作為終端過濾器，對進入潔凈室的空氣，進行一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。
（2） 根據潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區應避免渦流區；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區；氣流的流動有利于潔凈室內的微粒從回風口排走。
（3） 有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩定的氣流流型。
（4）不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。
潔凈室氣流組織考慮原則
（1） 當產品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。
（2） 減少渦流，避免把工作區以外的污染物帶入工作區。
（3） 為了防止灰塵的二次飛揚，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區的上部。宜在地板上或側墻下部均勻布置回風口。
（4） 工作區的氣流應均勻，流速必須滿足工藝和衛生的要求；潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴散之前便流向回風口。
（5） 工作設備布置時要留有一定的間隔，為送、回風口的布置和氣流的通暢創造條件：氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。
（6） 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內。當布置在亂流潔凈室時，宜將其置于工作區氣流的上風側，以提高室內的空氣潔凈度。
（7） 潔凈室內有通風柜時，宜置于工作區氣流的下風側，以減少對室內的污染。 [2]
潔凈室空氣流量原理
潔凈室通過使用采用層流或湍流氣流原理的HEPA或ULPA過濾器來維持無顆粒空氣。層流或單向氣流系統以恒定流量向下引導過濾空氣。層流氣流系統通常在100％的天花板上使用，以保持恒定的單向流動。層流標準通常在便攜式工作站（LF罩）中說明，并且在ISO-1至ISO-4分類潔凈室中是強制性的。
適當的潔凈室設計包括整個空氣分配系統，包括足夠的下游空氣回收。在垂直流動室中，這意味著在區域的周邊使用低壁空氣返回。在水平流動應用中，它需要在過程的下游邊界使用空氣返回。使用天花板安裝的空氣返回與適當的潔凈室系統設計相矛盾。
無塵潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室，潔凈室或無塵車間。它是污染控制的基礎。沒有無塵潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面，無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。