實現潔凈度要求的通風措施
潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項具體措施 [1] :
(1) 對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入潔凈室的空氣,進行一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。
(2) 根據潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區應避免渦流區;盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區;氣流的流動有利于潔凈室內的微粒從回風口排走。
(3) 有足夠的風量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩定的氣流流型。
(4)不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。
潔凈室氣流組織考慮原則
(1) 當產品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當產品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。
(2) 減少渦流,避免把工作區以外的污染物帶入工作區。
(3) 為了防止灰塵的二次飛揚,氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區的上部。宜在地板上或側墻下部均勻布置回風口。
(4) 工作區的氣流應均勻,流速必須滿足工藝和衛生的要求;潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴散之前便流向回風口。
(5) 工作設備布置時要留有一定的間隔,為送、回風口的布置和氣流的通暢創造條件:氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。
(6) 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內。當布置在亂流潔凈室時,宜將其置于工作區氣流的上風側,以提高室內的空氣潔凈度。
(7) 潔凈室內有通風柜時,宜置于工作區氣流的下風側,以減少對室內的污染。 [2]
潔凈室空氣流量原理
潔凈室通過使用采用層流或湍流氣流原理的HEPA或ULPA過濾器來維持無顆粒空氣。層流或單向氣流系統以恒定流量向下引導過濾空氣。層流氣流系統通常在100%的天花板上使用,以保持恒定的單向流動。層流標準通常在便攜式工作站(LF罩)中說明,并且在ISO-1至ISO-4分類潔凈室中是強制性的。
適當的潔凈室設計包括整個空氣分配系統,包括足夠的下游空氣回收。在垂直流動室中,這意味著在區域的周邊使用低壁空氣返回。在水平流動應用中,它需要在過程的下游邊界使用空氣返回。使用天花板安裝的空氣返回與適當的潔凈室系統設計相矛盾。
把好風管制作關,才能保證系統的潔凈度
2.1 風管制作前的準備。加工制作潔凈系統的風管應在相對密封的室內進行。室內的墻壁宜光滑、不產塵、不積塵,地面可鋪設加厚塑料地板,地板與墻體結合處宜用膠帶封貼,避免灰塵產生。風管加工前,室內必須做到干凈,無塵、無污染。可在打掃擦洗干凈后用吸塵器反復清理。制作風管用工具必須用酒精或無腐蝕洗滌劑擦洗干凈后進入制作室內。制作用設備不可能也不必要進入制作室內,但必須保持干凈,無灰塵。參加制作的工員宜相對固定,人員進入制作場所必須配戴一次性無塵帽、手套、口罩,工作服應常換洗。制作用材料應經過二到三次酒精或無腐蝕清潔劑擦洗后,才能進入制作場所待用。
2.2 潔凈系統風管制作要點。加工后半成品應再次擦洗后進入下道工序,風管下料咬口后應立即組合成型,不宜久放。風管法蘭加工要保證法蘭平面平整,規格要準確,與風管相配,以保證風管組合連接時接口密封性好。風管底部不得有橫向接縫,并且盡量避免縱向接縫,規格大的風管應盡量以整板制作,盡可能減少加強筋,必須設加強筋的也不得使用壓筋加強和風管內加強筋。風管制作應盡量采用聯合角或轉角咬口,6級以上的潔凈風管不得使用按扣式咬口。咬口處鍍鋅層損壞的、鉚釘孔處以及法蘭焊接處的鍍鋅層損壞的必須補做防腐。風管接縫翻邊裂縫處及鉚釘孔四周應涂以硅膠密封。風管翻邊必須平整均勻。翻邊寬度及鉚釘孔,法蘭螺孔必須嚴格按規范要求進行。柔性短管必須內壁光滑,一般可選用人造革或塑膠,風管檢查門墊料要用軟性橡膠。
