十萬級GMP潔凈車間對不同的對象，有不同的玷污物控制要求。
計有：
⑴空氣中懸浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空氣中懸浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸靜電
⑹生產工藝介質：高純工業氣體、特種氣體、高純水及高純化學品等的有關雜質。
凈化設備可使用油霧分離器，油霧凈化器，油霧處理器，油霧收集器，油霧過濾器、袋式除塵器、無塵工作臺、初效/中/過濾器、過濾器、水蒸發空調機、水溫空調等。大致的工作原理為：當控制器接通電源時，油霧分離器口產生強大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內。在油霧分離器內風輪的作用下發生碰撞，使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒，在吸霧材料的阻擋下實現空氣與水的分離。
吸附性過濾—活性炭活性炭是一種多孔性的含炭物質, 它具有高度發達的孔隙構造, 活性炭的多孔結構為其提供了大量的表面積，能與氣體（雜質）充分接觸，從而賦予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易達到吸收收集雜質的目的。就象磁力一樣，所有的分子之間都具有相互引力。
凈化車間竣工驗收相關文件：主要材料、設備和調節裝置、自動控制系統等出廠合格證書或檢驗文件；各項工程質量檢驗評定表；凈化車間設計文件、設計變更說明及有關協議、竣工圖；凈化車間里面各種設備性能指標記錄；開工、竣工報告、土建隱蔽工程系統、管線隱蔽工程系統封閉記錄、管道系統吹洗記錄、設備開箱記錄、管道壓力試驗記錄、風管檢漏記錄、中間驗收單和竣工驗收單。
