凈化車間外觀檢查應符合：各種空氣凈化設備、靜壓箱要清洗干凈，確保無塵；各種調節(jié)裝置應嚴密、靈活、操作方便；各種管道、自動滅火裝置及空氣凈化設備的安裝應正確、嚴密、牢固；初、中、空氣過濾器與支撐框架的連接以及風管與設備的連接處應可靠封閉；凈化車間內的各種刷涂、保溫工程等應符合有關規(guī)定；凈化車間的內墻壁、頂棚表面、地面應平整、光滑、不起灰塵、色澤均勻等；送、回風口及各類末端裝置、管道、動力線配管、照明等穿越凈化車間時，穿越處的密封處理應嚴密可靠。
凈化設備可使用油霧分離器，油霧凈化器，油霧處理器，油霧收集器，油霧過濾器、袋式除塵器、無塵工作臺、初效/中/過濾器、過濾器、水蒸發(fā)空調機、水溫空調等。大致的工作原理為：當控制器接通電源時，油霧分離器口產(chǎn)生強大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內。在油霧分離器內風輪的作用下發(fā)生碰撞，使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒，在吸霧材料的阻擋下實現(xiàn)空氣與水的分離。
應用領域 微電子、光電子、電子材料、儀器儀表、精密機械、制藥及生物工程、飲料、食品、 化妝品、醫(yī)療衛(wèi)生(潔凈手術室及實驗室);航空、印刷包裝、航天及軍事科學等。
一般以工業(yè)鋁材(不銹鋼方通、噴塑方通)做框架，采用風機濾網(wǎng)機組FFU送風，四周采用防靜電垂簾，頂部鋪蓋密縫盲板，形成一個密縫區(qū)，內部凈化級別可達100---10萬級;特別適用于車間內局部對潔凈度要求高的區(qū)域，如流水線作業(yè)區(qū)的高度產(chǎn)品組裝區(qū)。
