潔凈車間潔凈程度和控制污染的持續穩定性，是檢驗潔凈室質量的核心標準，該標準根據區域環境、凈化程度等因素，分為若干等級，常用的有國際標準和國內區域行業標準，一些知名凈化工程公司，在通行標準之外，還設有自身執行的高于國際化通行標準的凈化指標，凈化能力和環境適應力遠超國際品牌。
潔凈技術，即玷污控制(Contamination Control)技術。指的是：對象(產品、人及動物)在被加工、處置、、防護及實驗等過程中，對其所處環境內玷污物(影響對象的加工、處置、等質量、合格率或成功率的物質)進行控制的技術。
玷污物的污染包含對產品的損害和對人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫療范疇謂之感染)。
人是污染源的發源地：靜坐時，人體每分鐘散發10萬個粒子(粒≥0.5μm);
每天脫落6～13克表皮細胞，一年脫落人體細胞約3.5公斤。
半導體潔凈室內微污染來源，經測試，作業人員占80% 。
車間凈化工作原理為當控制器接通電源時，油霧分離器口產生強大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內。在油霧分離器內風輪的作用下發生碰撞，使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒，在吸霧材料的阻擋下實現空氣與水的分離。
凈化車間外觀檢查應符合：各種空氣凈化設備、靜壓箱要清洗干凈，確保無塵；各種調節裝置應嚴密、靈活、操作方便；各種管道、自動滅火裝置及空氣凈化設備的安裝應正確、嚴密、牢固；初、中、空氣過濾器與支撐框架的連接以及風管與設備的連接處應可靠封閉；凈化車間內的各種刷涂、保溫工程等應符合有關規定；凈化車間的內墻壁、頂棚表面、地面應平整、光滑、不起灰塵、色澤均勻等；送、回風口及各類末端裝置、管道、動力線配管、照明等穿越凈化車間時，穿越處的密封處理應嚴密可靠。
