潔凈技術(shù)，即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是：對(duì)象(產(chǎn)品、人及動(dòng)物)在被加工、處置、、防護(hù)及實(shí)驗(yàn)等過(guò)程中，對(duì)其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對(duì)象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進(jìn)行控制的技術(shù)。 玷污物的污染包含對(duì)產(chǎn)品的損害和對(duì)人的危害。 污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。 人是污染源的發(fā)源地：靜坐時(shí)，人體每分鐘散發(fā)10萬(wàn)個(gè)粒子(粒≥0.5μm); 每天脫落6～13克表皮細(xì)胞，一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。 半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來(lái)源，經(jīng)測(cè)試，作業(yè)人員占80% 。
凈化車間竣工驗(yàn)收相關(guān)文件：主要材料、設(shè)備和調(diào)節(jié)裝置、自動(dòng)控制系統(tǒng)等出廠合格證書或檢驗(yàn)文件；各項(xiàng)工程質(zhì)量檢驗(yàn)評(píng)定表；凈化車間設(shè)計(jì)文件、設(shè)計(jì)變更說(shuō)明及有關(guān)協(xié)議、竣工圖；凈化車間里面各種設(shè)備性能指標(biāo)記錄；開(kāi)工、竣工報(bào)告、土建隱蔽工程系統(tǒng)、管線隱蔽工程系統(tǒng)封閉記錄、管道系統(tǒng)吹洗記錄、設(shè)備開(kāi)箱記錄、管道壓力試驗(yàn)記錄、風(fēng)管檢漏記錄、中間驗(yàn)收單和竣工驗(yàn)收單。
吸附性過(guò)濾—活性炭活性炭是一種多孔性的含炭物質(zhì), 它具有高度發(fā)達(dá)的孔隙構(gòu)造, 活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供了大量的表面積，能與氣體（雜質(zhì)）充分接觸，從而賦予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易達(dá)到吸收收集雜質(zhì)的目的。就象磁力一樣，所有的分子之間都具有相互引力。
凈化參數(shù) 換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；溫度 冬季>16℃；
