濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產佳溫度范圍為35—45。
潔凈室中的防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質量的一個不可忽視的方面。所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負煙氣熱量容易積聚。無塵車間一般呈密閉狀態，門窗少，發生火災時，煙氣熱量不易向外散出，火源的熱幅射經四壁反射室內迅速升溫，同時造成煙氣滯留，熱量劇增，大大縮短室內各部位材料選到燃點的時間。煙霧毒性大。無塵車間內裝修中使用了一些高分子合成材料，這些材料在發生燃燒時會產生大量濃煙，散發毒氣，給人員逃生和消防人員救火帶來很大的威脅。
無塵車間風管穿過需要封閉的防火防爆樓板或墻體是采取的措施。應設鋼板厚度不小于1.6mm的預埋管或防護套管，無塵車間風管與防護套管之間應采用不燃柔性材料封堵。無塵車間風管穿越建筑物變形縫空間時，應設置柔性短管，無塵車間風管穿越建筑物變形縫墻體時，應設置鋼制套管，無塵車間風管與套管之間應采用柔性防水材料填充密實。
