濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產佳溫度范圍為35—45。
靜電事故的產生主要在于靜電的產生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產生靜電，在一般情況下，越是電導率小的非導體（絕緣體），由于電荷產生后不易流動，因此表現為越容易帶電。
無塵室的構成是由下列各項系統所組成（在所組成的系統分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室：
⑴天花板系統
包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。
⑵空調系統
包括空氣艙、過濾器系統、風車等。
⑶隔墻板（Partitional wall)
包括窗戶、門。
⑷地板
包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾涂地面。
⑸照明器具
包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無塵室之建筑主體構造
一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，滿足如下之條件：
A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕；
B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性小；
D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高。
進出潔凈室的管理
⒈進入潔凈室的人員應嚴格要求執行人身凈化制度、路線和順 序。退出潔凈室時，按如上順序、路線進行，不允許將潔凈用品帶至門廳。
⒉若有吹淋室，按規定進行吹淋后,方可進入潔凈室內。同時，嚴格按照風淋室的規格和使用要求，控制每次進入風淋室風淋的人數，不允許正在風淋室強行關閉運行風機或電源。一般經過風淋，人身表面散發的灰塵粒子數減少40—60 。
⒊為不干擾室內的潔凈氣流型式，在作業區側不應放置物品，回風口附近不要堆放物;送風孔板下不應堵塞和堆放物品，生產操作應在潔凈工作臺或氣流的上游進行。
⒋不允許將與生產無關的和容易產塵的物品帶入潔凈室內。
⒌嚴禁在潔凈室內吸煙、飲食和進行非生產性活動。
⒍進入潔凈室前，個人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。
⒎戴帽時，應將頭發全部遮住，鞋套應將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。
⒏脫潔凈工作服時，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內或掛在規定的處所。
⒐退出潔凈室時，在更衣區前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進入潔凈室內，仍需按進入潔凈室的規定順序進行。
⒑退出潔凈室時，可以不需要經過空氣吹淋而進入更換區域。
