濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。
無(wú)塵車間生產(chǎn)工藝對(duì)密閉性能有著特殊要求，無(wú)塵車間內(nèi)空間密閉、平面布置曲折、風(fēng)管交錯(cuò)連通、復(fù)合裝修材料復(fù)雜，有的生產(chǎn)過(guò)程中使用易燃易爆物質(zhì)，一旦發(fā)生火災(zāi)，熱量難于散發(fā)，人員不便于疏散，風(fēng)管大量布置造成火勢(shì)迅速蔓延，有的無(wú)塵車間內(nèi)部還設(shè)有大量的昂貴儀器和設(shè)備，易造成重大的人員傷亡和財(cái)產(chǎn)損失。
潔凈室
對(duì)生物潔凈室，除對(duì)送入潔凈室的空氣中的生物或非生物微粒數(shù)要受到控制，還要對(duì)室內(nèi)器具、地面、墻面、壁板等表面進(jìn)行處理。空氣潔凈技術(shù)不能殺滅，生物潔凈室運(yùn)行管理中采取、措施，減少微生物在潔凈室中的生存、繁衍。
目前，傳統(tǒng)方法為：紫外線、藥劑、加熱和臭氧法。它們可靠性都很好，應(yīng)用為廣泛。
另外，整個(gè)被的潔凈室應(yīng)通過(guò)送回風(fēng)管形成循環(huán)狀態(tài)，每天開機(jī)做空氣1—1.5小時(shí);若需對(duì)潔凈室墻體、地面和設(shè)備等表面進(jìn)行則需2小時(shí)左右。
無(wú)塵室在絕大多數(shù)情況下，運(yùn)行中風(fēng)速越低，過(guò)濾器的使用效果越好。主要是因?yàn)樾×椒鄣臄U(kuò)散作用明顯，風(fēng)速低了，氣流在過(guò)濾材料中滯留的時(shí)間就長(zhǎng)一些，粉塵就有更多的機(jī)會(huì)撞擊障礙物，因此過(guò)濾效率就高，經(jīng)驗(yàn)表明，對(duì)于過(guò)濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過(guò)率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)，風(fēng)速增加一倍，透過(guò)率會(huì)增加一個(gè)數(shù)量級(jí)。
