潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。
無(wú)塵車間生產(chǎn)工藝對(duì)密閉性能有著特殊要求，無(wú)塵車間內(nèi)空間密閉、平面布置曲折、風(fēng)管交錯(cuò)連通、復(fù)合裝修材料復(fù)雜，有的生產(chǎn)過(guò)程中使用易燃易爆物質(zhì)，一旦發(fā)生火災(zāi)，熱量難于散發(fā)，人員不便于疏散，風(fēng)管大量布置造成火勢(shì)迅速蔓延，有的無(wú)塵車間內(nèi)部還設(shè)有大量的昂貴儀器和設(shè)備，易造成重大的人員傷亡和財(cái)產(chǎn)損失。
進(jìn)出潔凈室的管理
⒈進(jìn)入潔凈室的人員應(yīng)嚴(yán)格要求執(zhí)行人身凈化制度、路線和順 序。退出潔凈室時(shí)，按如上順序、路線進(jìn)行，不允許將潔凈用品帶至門(mén)廳。
⒉若有吹淋室，按規(guī)定進(jìn)行吹淋后,方可進(jìn)入潔凈室內(nèi)。同時(shí)，嚴(yán)格按照風(fēng)淋室的規(guī)格和使用要求，控制每次進(jìn)入風(fēng)淋室風(fēng)淋的人數(shù)，不允許正在風(fēng)淋室強(qiáng)行關(guān)閉運(yùn)行風(fēng)機(jī)或電源。一般經(jīng)過(guò)風(fēng)淋，人身表面散發(fā)的灰塵粒子數(shù)減少40—60 。
⒊為不干擾室內(nèi)的潔凈氣流型式，在作業(yè)區(qū)側(cè)不應(yīng)放置物品，回風(fēng)口附近不要堆放物;送風(fēng)孔板下不應(yīng)堵塞和堆放物品，生產(chǎn)操作應(yīng)在潔凈工作臺(tái)或氣流的上游進(jìn)行。
⒋不允許將與生產(chǎn)無(wú)關(guān)的和容易產(chǎn)塵的物品帶入潔凈室內(nèi)。
⒌嚴(yán)禁在潔凈室內(nèi)吸煙、飲食和進(jìn)行非生產(chǎn)性活動(dòng)。
⒍進(jìn)入潔凈室前，個(gè)人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。
⒎戴帽時(shí)，應(yīng)將頭發(fā)全部遮住，鞋套應(yīng)將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。
⒏脫潔凈工作服時(shí)，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內(nèi)或掛在規(guī)定的處所。
⒐退出潔凈室時(shí)，在更衣區(qū)前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進(jìn)入潔凈室內(nèi)，仍需按進(jìn)入潔凈室的規(guī)定順序進(jìn)行。
⒑退出潔凈室時(shí)，可以不需要經(jīng)過(guò)空氣吹淋而進(jìn)入更換區(qū)域。
無(wú)塵室與擴(kuò)散的效果類似，當(dāng)過(guò)濾材料帶靜電時(shí)，粉塵在濾材中滯留的時(shí)間越長(zhǎng)，被材料吸附的可能性就越大，改變風(fēng)速，帶靜電材料的過(guò)濾效率會(huì)明顯改變，如果你材料上有靜電，進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該盡可能地減少通過(guò)每只過(guò)濾器的風(fēng)量。
對(duì)于以慣性機(jī)理為主的大顆粒粉塵，根據(jù)傳統(tǒng)理論，風(fēng)速降低后，粉塵與纖維碰撞的幾率會(huì)減少，過(guò)濾效率會(huì)隨之降低，但在實(shí)踐中這種影響并不明顯，因?yàn)轱L(fēng)速小了，纖維對(duì)粉塵的反彈力也小了，粉塵更容易被粘住。
