濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時(shí)，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。
無塵車間生產(chǎn)工藝對密閉性能有著特殊要求，無塵車間內(nèi)空間密閉、平面布置曲折、風(fēng)管交錯(cuò)連通、復(fù)合裝修材料復(fù)雜，有的生產(chǎn)過程中使用易燃易爆物質(zhì)，一旦發(fā)生火災(zāi)，熱量難于散發(fā)，人員不便于疏散，風(fēng)管大量布置造成火勢迅速蔓延，有的無塵車間內(nèi)部還設(shè)有大量的昂貴儀器和設(shè)備，易造成重大的人員傷亡和財(cái)產(chǎn)損失。
無塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室：
⑴天花板系統(tǒng)
包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。
⑵空調(diào)系統(tǒng)
包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。
⑶隔墻板（Partitional wall)
包括窗戶、門。
⑷地板
包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。
⑸照明器具
包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無塵室之建筑主體構(gòu)造
一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，滿足如下之條件：
A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；
B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性小；
D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。
無塵室在絕大多數(shù)情況下，運(yùn)行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。主要是因?yàn)樾×椒鄣臄U(kuò)散作用明顯，風(fēng)速低了，氣流在過濾材料中滯留的時(shí)間就長一些，粉塵就有更多的機(jī)會撞擊障礙物，因此過濾效率就高，經(jīng)驗(yàn)表明，對于過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個(gè)數(shù)量級，風(fēng)速增加一倍，透過率會增加一個(gè)數(shù)量級。
