濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產佳溫度范圍為35—45。
凈化工作臺原理的潔凈環境是在特定的空間內，潔凈空氣(進濾空氣)按設定的方向流動而形成的。以氣流方向來分，現有的超凈工作臺可分為垂直式，由內向外式以及側向式。從操作質量和對環境的影響來考慮，以垂直式較優越。由供氣濾板提供的潔凈空氣以一個特定的速度下降通過操作區，在大約操作區的中間分開，由前端空氣吸入孔和后吸氣窗吸走，在操作區下部前后部吸入的空氣混合在一起，并由鼓風機泵入后正壓區，在機器的上部，30的氣體通過排氣濾板從頂部排出，大約70的氣體通過供氧濾板重新進入操作區。為補充排氣口排出的空氣，同體積的空氣通過操作口從房間空氣中得到補充。這些空氣不會進入操作區，只是形成一個空氣屏障。
潔凈室的清掃、。
1.潔凈室的清掃一般須在生產工藝結束后進行;如有必要在生產前清掃，則工藝生產在凈化空調系統開機運行時間達到潔凈要求后方可開始進行。為防止交叉污染，清掃潔凈廠房設施均應按產品特點、工序要求、潔凈度等級不同分別專用。
清掃工具一般采用集中固定式和便攜移動式真空清掃設備。如不具備上述條件，也可采用不掉纖維的材料如絲光毛巾、尼龍布進行擦拭，一般每天1次或數次。
工作臺及工器具清掃一般每天一次;10～1000級廠房墻壁、地面清掃，一般每周一次，1萬～10萬級每月一次。凈化空調系統每年宜清洗1～2次，并委托專門清掃人員進行。
無塵車間風管穿過需要封閉的防火防爆樓板或墻體是采取的措施。應設鋼板厚度不小于1.6mm的預埋管或防護套管，無塵車間風管與防護套管之間應采用不燃柔性材料封堵。無塵車間風管穿越建筑物變形縫空間時，應設置柔性短管，無塵車間風管穿越建筑物變形縫墻體時，應設置鋼制套管，無塵車間風管與套管之間應采用柔性防水材料填充密實。
