潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。
潔凈室內(nèi)靜電導(dǎo)致的事故有以下幾方面；
1．靜電電引起的靜電電擊，引起人和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；
2-靜電放電引起的放電電流，可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi)，搖晃數(shù)次后，與非門柵嚴(yán)重?fù)舸┱哂?9塊，失效率競達(dá)78，這是因為半導(dǎo)體器件對靜電放電十分靈敏；
3．靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動作；
4．靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照像肢片等感光破壞；
5．靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；凈化工程
6．靜電放電引起的危險的災(zāi)害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國外文獻(xiàn)統(tǒng)計，在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次，其中由靜電引起的達(dá)21次。
進(jìn)出潔凈室的管理
⒈進(jìn)入潔凈室的人員應(yīng)嚴(yán)格要求執(zhí)行人身凈化制度、路線和順 序。退出潔凈室時，按如上順序、路線進(jìn)行，不允許將潔凈用品帶至門廳。
⒉若有吹淋室，按規(guī)定進(jìn)行吹淋后,方可進(jìn)入潔凈室內(nèi)。同時，嚴(yán)格按照風(fēng)淋室的規(guī)格和使用要求，控制每次進(jìn)入風(fēng)淋室風(fēng)淋的人數(shù)，不允許正在風(fēng)淋室強行關(guān)閉運行風(fēng)機或電源。一般經(jīng)過風(fēng)淋，人身表面散發(fā)的灰塵粒子數(shù)減少40—60 。
⒊為不干擾室內(nèi)的潔凈氣流型式，在作業(yè)區(qū)側(cè)不應(yīng)放置物品，回風(fēng)口附近不要堆放物;送風(fēng)孔板下不應(yīng)堵塞和堆放物品，生產(chǎn)操作應(yīng)在潔凈工作臺或氣流的上游進(jìn)行。
⒋不允許將與生產(chǎn)無關(guān)的和容易產(chǎn)塵的物品帶入潔凈室內(nèi)。
⒌嚴(yán)禁在潔凈室內(nèi)吸煙、飲食和進(jìn)行非生產(chǎn)性活動。
⒍進(jìn)入潔凈室前，個人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。
⒎戴帽時，應(yīng)將頭發(fā)全部遮住，鞋套應(yīng)將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。
⒏脫潔凈工作服時，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內(nèi)或掛在規(guī)定的處所。
⒐退出潔凈室時，在更衣區(qū)前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進(jìn)入潔凈室內(nèi)，仍需按進(jìn)入潔凈室的規(guī)定順序進(jìn)行。
⒑退出潔凈室時，可以不需要經(jīng)過空氣吹淋而進(jìn)入更換區(qū)域。
無塵車間風(fēng)管的組對、連接長度應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場的施工現(xiàn)場的情況和吊裝設(shè)備而進(jìn)行確定。無塵車間風(fēng)管連接采用的密封材料應(yīng)滿足系統(tǒng)功能的技術(shù)條件。
例如，防、排煙系統(tǒng)或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無塵車間，應(yīng)采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質(zhì)的氣體，應(yīng)采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。
