潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。
無塵室的構成是由下列各項系統所組成（在所組成的系統分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室：
⑴天花板系統
包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。
⑵空調系統
包括空氣艙、過濾器系統、風車等。
⑶隔墻板（Partitional wall)
包括窗戶、門。
⑷地板
包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾涂地面。
⑸照明器具
包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無塵室之建筑主體構造
一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，滿足如下之條件：
A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕；
B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性小；
D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高。
進出潔凈室的管理
⒈進入潔凈室的人員應嚴格要求執行人身凈化制度、路線和順 序。退出潔凈室時，按如上順序、路線進行，不允許將潔凈用品帶至門廳。
⒉若有吹淋室，按規定進行吹淋后,方可進入潔凈室內。同時，嚴格按照風淋室的規格和使用要求，控制每次進入風淋室風淋的人數，不允許正在風淋室強行關閉運行風機或電源。一般經過風淋，人身表面散發的灰塵粒子數減少40—60 。
⒊為不干擾室內的潔凈氣流型式，在作業區側不應放置物品，回風口附近不要堆放物;送風孔板下不應堵塞和堆放物品，生產操作應在潔凈工作臺或氣流的上游進行。
⒋不允許將與生產無關的和容易產塵的物品帶入潔凈室內。
⒌嚴禁在潔凈室內吸煙、飲食和進行非生產性活動。
⒍進入潔凈室前，個人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。
⒎戴帽時，應將頭發全部遮住，鞋套應將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。
⒏脫潔凈工作服時，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內或掛在規定的處所。
⒐退出潔凈室時，在更衣區前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進入潔凈室內，仍需按進入潔凈室的規定順序進行。
⒑退出潔凈室時，可以不需要經過空氣吹淋而進入更換區域。
無塵車間風管的組對、連接長度應根據現場的施工現場的情況和吊裝設備而進行確定。無塵車間風管連接采用的密封材料應滿足系統功能的技術條件。
例如，防、排煙系統或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無塵車間，應采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質的氣體，應采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。
