潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。
靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重，是因為不但在潔凈室中具備前述產生靜電的多種工藝因素，而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都易產生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。
無塵車間生產工藝對密閉性能有著特殊要求，無塵車間內空間密閉、平面布置曲折、風管交錯連通、復合裝修材料復雜，有的生產過程中使用易燃易爆物質，一旦發生火災，熱量難于散發，人員不便于疏散，風管大量布置造成火勢迅速蔓延，有的無塵車間內部還設有大量的昂貴儀器和設備，易造成重大的人員傷亡和財產損失。
火災蔓延途徑多、蔓延速度快。無塵車間內通風管道、電氣線路套管、技術夾層等彼此串通，發生火災，特別是火勢初起未被發現而繼續送風，風管成為煙火迅速外串、殃及其它房間的重要通道，易造成煙熱氣流向其它房間和區域，造成火災迅速蔓延。
