濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產佳溫度范圍為35—45。
靜電事故的產生主要在于靜電的產生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產生靜電，在一般情況下，越是電導率小的非導體（絕緣體），由于電荷產生后不易流動，因此表現為越容易帶電。
凈化工作臺原理的潔凈環境是在特定的空間內，潔凈空氣(進濾空氣)按設定的方向流動而形成的。以氣流方向來分，現有的超凈工作臺可分為垂直式，由內向外式以及側向式。從操作質量和對環境的影響來考慮，以垂直式較優越。由供氣濾板提供的潔凈空氣以一個特定的速度下降通過操作區，在大約操作區的中間分開，由前端空氣吸入孔和后吸氣窗吸走，在操作區下部前后部吸入的空氣混合在一起，并由鼓風機泵入后正壓區，在機器的上部，30的氣體通過排氣濾板從頂部排出，大約70的氣體通過供氧濾板重新進入操作區。為補充排氣口排出的空氣，同體積的空氣通過操作口從房間空氣中得到補充。這些空氣不會進入操作區，只是形成一個空氣屏障。
潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準，目的在于保障操作正常進行，滿足必要的談話聯系及良好的工作環境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是：
1．煩惱的效應由于噪聲，使人感到不安寧而產生煩惱情緒，一般分為安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和吵鬧7個煩惱等級。凡反應水平屬于很吵鬧和吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數在總人數中的百分比即為高煩惱率，層流罩。
2．對工作效率的影響這主要看三方面的反應水平，這三個方面是：集中精神動作準確性工作速度
3．對綜合通訊的干擾。
