潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。
濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產佳溫度范圍為35—45。
無塵室在絕大多數情況下，運行中風速越低，過濾器的使用效果越好。主要是因為小粒徑粉的擴散作用明顯，風速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機會撞擊障礙物，因此過濾效率就高，經驗表明，對于過濾器，風速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數量級，風速增加一倍，透過率會增加一個數量級。
無塵車間風管的組對、連接長度應根據現場的施工現場的情況和吊裝設備而進行確定。無塵車間風管連接采用的密封材料應滿足系統功能的技術條件。
例如，防、排煙系統或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無塵車間，應采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質的氣體，應采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。
