潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。
靜電問題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重，是因?yàn)椴坏跐崈羰抑芯邆淝笆霎a(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。
潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)，目的在于保障操作正常進(jìn)行，滿足必要的談話聯(lián)系及良好的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是：
1．煩惱的效應(yīng)由于噪聲，使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒，一般分為安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和吵鬧7個(gè)煩惱等級(jí)。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率，層流罩。
2．對(duì)工作效率的影響這主要看三方面的反應(yīng)水平，這三個(gè)方面是：集中精神動(dòng)作準(zhǔn)確性工作速度
3．對(duì)綜合通訊的干擾。
無塵車間風(fēng)管的組對(duì)、連接長(zhǎng)度應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)的施工現(xiàn)場(chǎng)的情況和吊裝設(shè)備而進(jìn)行確定。無塵車間風(fēng)管連接采用的密封材料應(yīng)滿足系統(tǒng)功能的技術(shù)條件。
例如，防、排煙系統(tǒng)或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無塵車間，應(yīng)采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質(zhì)的氣體，應(yīng)采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。
