有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴重影響少數載流子壽命和表面電導；堿金屬如鈉等，引起嚴重漏電；顆粒污染包括硅渣、塵埃、、微生物、有機膠體纖維等，會導致各種缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化學清洗兩種。
物理清洗有三種方法。①刷洗或擦洗:可除去顆粒污染和大多數粘在片子上的薄膜。②高壓清洗：是用液體噴射片子表面，噴嘴的壓力高達幾百個大氣壓。高壓清洗靠噴射作用，片子不易產生劃痕和損傷。但高壓噴射會產生靜電作用，靠調節噴嘴到片子的距離、角度或加入防靜電劑加以避免。③超聲波清洗：超聲波聲能傳入溶液,靠氣蝕作用洗掉片子上的污染。但是,從有圖形的片子上除去小于 1微米顆粒則比較困難。將頻率提高到超高頻頻段，清洗效果更好。
廢品回收，一種有償性的廢品處理生活服務，由專業正規的廢品回收站或公司進行收購，之后對廢品進行科學處理及分類以達到再次循環利用的標準。廢品回收對保護環境、節約能源和帶動社會效益起積極作用 [1] 。
廢品回收，一種有償性的廢品處理生活服務，由專業正規的廢品回收站或公司進行收購。之后對廢品的科學處理及分類達到再次循環利用的標準，廢品回收這項服務對保護環境、節約能源和帶動社會效益起著積極的作用。專業正規的廢品公司不僅可以增加企業公司的效益，更能對社會帶來節約成本的效果，同時也能為環境作出貢獻。