產品特點
1.該設備生長溫度更低
2.使用滑軌爐實現快速升溫和降溫，沉積速率快
3.設備輝光均勻等效，均勻生長，成膜質量好
4.支持外部真空規和壓力變送器
5.支持智能進氣，根據需要設定不同的溫度，自動進氣，進氣定時間到后自動停止進氣
6.支持云端數據存儲，隨時查看數據
7.支持爐膛移動速度調節
8.支持射頻電源根據外部工況條件自動啟動停止
9.支持壓力恒定，壓力可以設定
10.支持超壓保護，大壓力值可以設定，超過后系統自動進入保護
多功能pecvd系統
2023-01-06 10:04 1772次瀏覽
價 格：
面議
鄭州邦達電氣有限公司
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